Diener 等離子表面處理儀 Zepto
2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統，Diener 等離子表面處理儀 Zepto 200主要用于以下領域：
小批量生產
分析 (REM, TEM)
醫療技術
滅菌
研究和開發部門
考古
紡織技術
塑料技術
Diener 等離子表面處理儀 Zepto技術參數：
系列 | Zepto |
控制系統 | 手動型 PCCE 控制系統 (Microsoft Windows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 1.7~2.6L |
真空腔室 | 圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子 圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子 |
電極 | 單層或多層 |
樣品支架 | 鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani |
計時器 | 數字型 |
高頻電流發生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W |
真空泵 | KASHIYAMA |
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